PHI710掃描俄歇納米探針1 . 使用CMA同軸分析器，同時實現高靈敏度和高傳輸率。即使在低電流高空間分辨率情 況下，都可輕松的進行分析 2.以20kV加速電壓和電流1nA進行俄歇分析，AES空間分辨率可達~8nm 3.在保有所有CMA的優點同時，并加上了獲得AVS (美國真空協會）設計獎的高能量分 辨率功能，可以AES進行各種納米級區域的化學態分析 4.Windows兼容軟件

PHI710掃描俄歇納米探針一同軸筒鏡分析儀 (CMA:Cylindrica l Mirror Analyzer) 同軸CMA是PHI公司在其電子光譜儀的中心軸上放置電子槍。CMA能*360度收集產生的俄歇電子，因此具有不受樣品形貌和傾角影響的 優點。圖3顯示同軸CMA和非同軸譜儀SCA的靈敏度特點。CMA從垂直 入射到角度入射均能表現出高靈敏度特點，角度依賴性低，從而采用各種 入射角度，分析各種形貌的樣品均可得到優異的定量結果。

比較分析形態復雜的樣本 圖4比較CMA和SCA所采集的銅錫球SEM成像，以及俄歇成分像， SCA中俄歇成分圖的陰影效果非常明顯，而CMA所獲得的SEM像和俄歇 成分像可準確地反映真實結果。

俄歇分析通過SEM觀察確定分析位置，再進行采譜，成分分布成像和深度 剖析。在SEM觀察時需要細小的聚焦電子束斑，同時進行俄歇分析，需要非 常穩定的電子束。 SEM成像分辨率可達3納米左右，AES710使用低噪聲電源（圖1). 采用 隔音罩以減小振動、聲音、和溫度的影晌，AES分析時分辨率可達到8nm (20 kV 1 nA). 圖2案例：球墨鑄鐵斷面中晶間雜質的分析。 從左圖所示：二次電子像，Ca (藍色） Mg(綠色） Ti (紅色）俄歇成分 像，以及S的俄歇成分分布像，表明了AES納米級微區的化學分析能力。