電子探針是一種利用電子束作用樣品后產(chǎn)生的特征X射線進(jìn)行微區(qū)成分分析的儀器,[1]可以用來(lái)分析薄片中礦物微區(qū)的化學(xué)組成。除H、He、Li、Be等幾個(gè)較輕元素外,還有U元素以后的元素以外都可進(jìn)行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經(jīng)過(guò)加速和聚焦的極窄的電子束為探針,激發(fā)試樣中某一微小區(qū)域,使其發(fā)出特征X射線,測(cè)定該X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度,即可對(duì)該微區(qū)的元素作定性或定量分析。中文名電子探針外文名ElectronMicroprobe別稱(chēng)微區(qū)X射線光譜分析儀1電子探針簡(jiǎn)介電子探針顯微分析原理及其發(fā)展的初期是建立在X射線光
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