橢偏儀[1-2]是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器。由于測量精度高,適用于超薄膜,與樣品非接觸,對樣品沒有破壞且不需要真空,使得橢偏儀成為一種吸引力的測量儀器。中文名橢偏儀特點測量精度高光譜范圍深紫外的142nm到紅外33um可選應用領域半導體、微電子、MEMS等1工作原理下圖給出了橢偏儀的基本光學物理結構。已知入射光的偏振態,偏振光在樣品表面被反射,測量得到反射光偏振態(幅度和相位),計算或擬合出材料的屬性。入射光束(線偏振光)的電場可以在兩個垂直平面上分解為矢量元
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