橢偏儀[1-2]是一種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量儀器。由于測(cè)量精度高,適用于超薄膜,與樣品非接觸,對(duì)樣品沒有破壞且不需要真空,使得橢偏儀成為一種吸引力的測(cè)量儀器。中文名橢偏儀特點(diǎn)測(cè)量精度高光譜范圍深紫外的142nm到紅外33um可選應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體、微電子、MEMS等1工作原理下圖給出了橢偏儀的基本光學(xué)物理結(jié)構(gòu)。已知入射光的偏振態(tài),偏振光在樣品表面被反射,測(cè)量得到反射光偏振態(tài)(幅度和相位),計(jì)算或擬合出材料的屬性。入射光束(線偏振光)的電場可以在兩個(gè)垂直平面上分解為矢量元
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