名稱：Tousimis B系列臨界點干燥儀
型號：Automegasamdri®-915B? Series B
產品編號：8785C
樣品室尺寸：6.5“（內徑）×1.25“（深）
樣品室容積：679 ml
樣品室內環：6“, 4“, 3“, 2“, 1.25“
HF相容晶元架：6“, 4“, 3“, 2“, 10mm
設備尺寸：36.2 x 29.8 x 63.5 cm
Tousimis B系列臨界點干燥儀產品特點：
專為MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制備而設計的臺式全自動臨界點干燥儀，防靜電無塵室適用
標配不同尺寸晶圓架，每次可處理5個晶圓樣品
標配樣品室內環套裝，適配不同的樣品尺寸，減少LCO2消耗，提高干燥效率
高效絕熱冷卻系統，可快速降溫并在充液、吹掃時自動保溫
SOTER冷凝器用于分離乙醇和CO2，消除靜電及吹掃噪音
內置壓力控制模塊，自動控制系統壓力和保持壓力穩定性
外置0.5μm的LCO2過濾裝置，去除水、油和顆粒物
內置吹掃后過濾器，可過濾LCO2內0.4μm以上雜質
每個操作模式均有LED顯示，一目了然
樣品室設有照明燈及觀察窗，便于觀察樣品狀態
帶刻度的微型計量閥門控制LCO2流量
微處理器控制，可全自動操作
操作參數可重復設定，確保結果可重復性
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準
Tousimis B系列臨界點干燥儀標配附件：
柔性高壓LCO2進液管線，3.0 m（無塵室）
防靜電排空管線
外置SOTER冷凝器（分離乙醇和CO2，消除靜電及吹掃噪音）
樣品室內環（僅適用于915B與815B）可適配不同直徑晶圓
HF相容晶圓架（僅適用于915B與815B）與10mm方晶架，每個支架多可放置5片晶圓樣品
備用樣品室密封環（3），樣品室燈泡（2），保險絲（2）
安裝工具組
用戶說明書及數據表
2年質保及終生免費技術支持
