正規代理hitachi日立聚焦離子束系統
新型電子光學系統，可達到世界高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質TEM樣品制備成為可能
深圳市井澤貿易有限公司
胡經理
正規代理hitachi日立聚焦離子束系統
正規代理hitachi日立聚焦離子束系統
MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統：新型電子光學系統，可達到世界高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質TEM樣品制備成為可能
可用于截面加工觀察，高品質TEM樣品制備，電路修復，Vector Scan加工，微納米級微細圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構造等眾多樣品加工應用。
通過提高極低加速電壓（0.5kV～）加工及低加速電壓二次電子圖像分辨率，實現制備損傷率更低的TEM樣品
*的操作性能和多種多樣的加工模式
- 截面制備程序加工
- TEM/STEM樣品程序加工
- 自動連續加工
- TEM樣品自動連續精加工軟件
- 位圖加工
- Vector Scan加工
- 制備納米精度三維結構樣品 其他
| 項目 | 內容 |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 50mm×50mm×12mm（t）以下 |
| 樣品臺 | 5軸電動機械優中心馬達臺 |
| 加速電壓 | 1～30kV （0.5kV～ 選配） （0.5～1.0kV ： 步長0.1kV） （1.0～2.0kV ： 步長0.2kV） |
| 二次電子分辨率 | 4nm＠30kV |
| 大探針電流 | 90nA |
| 大探針電流密度 | 50A/cm2 |
