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激光干涉儀

激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。中文名激光干涉儀外文名laserinterferometer分類單頻激光干涉儀、雙頻激光干涉儀1介紹激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

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激光干涉儀

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  • 機床激光干涉測量校準系統

    sj6000機床激光干涉測量校準系統具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
  • 0.05ppm機床激光干涉儀

    0.05ppm機床激光干涉儀利用激光干涉現象來實現非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優點,在機床加工領域有著廣泛的應用。它集光、機、電、計算機等技術于一體,采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。
  • 機床激光干涉測量校準儀

    SJ6000機床激光干涉測量校準儀具有高測量精度和重復性,可以實現非接觸式測量方式,不會對被測量物體造成損傷。它結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
  • 激光干涉儀測量雙直線導軌

    SJ6000激光干涉儀測量雙直線導軌安裝平行度采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗擾力強、長期穩定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點。
  • 激光干涉位移測量儀

    SJ6000激光干涉位移測量儀在動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
  • 導軌誤差激光干涉測量儀

    SJ6000導軌誤差激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
  • 高精度環境補償激光干涉儀

    SJ6000高精度環境補償激光干涉儀采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償。
  • 三坐標幾何誤差激光干涉測

    SJ6000三坐標幾何誤差激光干涉測量儀利用激光干涉現象來實現非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優點。可以檢測三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。
  • 數控機床精度激光干涉檢測

    SJ6000數控機床精度激光干涉檢測儀集光、機、電、計算機等技術于一體,采用激光雙縱模熱穩頻技術,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點。
  • 激光干涉儀精密測量及校準

    SJ6000激光干涉儀精密測量及校準系統利用激光干涉現象來實現非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優點。結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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